Analyseur de boue CMP

Arenal PCS produit des analyseurs de boues CMP pour l'industrie des semi-conducteurs/TFT/LCD. L'analyseur se compose de l' analyseur de contrôle de processus et d'un bloc de débit en téflon avec des capteurs de spectroscopie à ultrasons. La bouillie CMP s'écoule à travers les blocs vers les tranches. Pendant ce temps, la qualité de la suspension est contrôlée en permanence pour réduire les risques de rayures sur la surface des tranches.

Technologie

La spectroscopie ultrasonore est une technologie de propriétés physiques acoustiques, offrant une stabilité à long terme. Des impulsions à haute énergie sont induites dans l'élément piézo : une onde ultrasonique apparaît et se propage à travers le capteur et la suspension : les réflexions de l'interface entre l'élément et la suspension, ainsi que du réflecteur sont mesurées. Leurs propriétés changent en raison de la température et des propriétés de la boue, dont la densité fait partie. Toutes les propriétés acoustiques sont lues par l'analyseur de contrôle de processus (PCA). Dans le PCA, la concentration de la suspension est calculée. En savoir plus sur la technologie ici.

Modes de réalisation

Une ou plusieurs sondes céramiques peuvent être montées dans des blocs QB1, en PTFE.

Contactez-nous pour plus d'informations avec notre formulaire de contact ou notre formulaire de demande de devis.