محلل الطين CMP

تنتج Arenal PCS أجهزة تحليل الطين CMP لصناعة أشباه الموصلات . TFT / LCD/ يتكون المحلل من جهاز التحكم في العملية وكتلة تدفق التفلون مع مستشعرات التحليل الطيفي بالموجات فوق الصوتية. يتدفق ملاط CMP عبر الكتل إلى الرقائق. وفي الوقت نفسه، يتم مراقبة جودة الملاط باستمرار لتقليل مخاطر الخدوش على سطح الرقائق.

تكنولوجيا

التحليل الطيفي بالموجات فوق الصوتية هو تقنية خصائص فيزيائية صوتية، توفر ثباتًا طويل المدى. يتم إحداث نبضات عالية الطاقة في عنصر كهرضغطية : تنشأ موجة فوق صوتية وتنتشر عبر المستشعر والطين : يتم قياس الانعكاسات من الواجهة بين العنصر والطين، وكذلك من العاكس. تتغير خصائصها بسبب درجة الحرارة وخصائص الملاط، والتي تعد كثافتها واحدة منها. تتم قراءة جميع الخصائص الصوتية بواسطة جهاز التحكم في العملية. (PCA)في PCA يتم حساب تركيز الملاط. تعلم المزيد عن التكنولوجيا هنا .

تجسيدات

يمكن تركيب مستشعر سيراميك واحد أو أكثر في كتل QB1، المصنوعة من PTFE.

تواصل معنا للحصول على مزيد من المعلومات من خلال نموذج الاتصال أو نموذج طلب عرض الأسعار الخاص بنا.